填空题 空气介质变隙式电容传感器中，提高灵敏度和减少非线性误差是矛盾的，为此实际中大都采用（）式电容传感器。

填空题 利用涡流式传感器测量位移时，为了得到较好的线性度和较好的灵敏度，应该让（）的距离大大小于线圈半径。

填空题 单线圈螺线管式电感传感器主要由线圈、（）和可沿线圈轴向（）组成。