名词解释
二元光学
基于波面衍射原理，利用计算机辅助设计和超大规模集成（VLSI）电路制作工艺，在基于刻蚀产生两个或多个台阶深度的浮点结构，......
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名词解释 二元光学元件
名词解释 二元掩膜
名词解释 光刻
