问答题
如何理解纳米级加工的物理实质？
欲得到1nm的加工精度，加工的最小单位必然在亚微米级。由于原子间的距离为0.1-0.3nm，纳米级加工实际上以及到了加工......
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问答题 光刻加工技术的基本过程通常包括哪些步骤？
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