多项选择题
刻蚀的过程中,对刻蚀的要求是()
A.图形的保真度高B.选择比越接近1:1越好C.均匀性好D.晶圆表面的洁净
多项选择题 以下属于刻蚀环节质量要求的是()
多项选择题 最常用的砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液包括()
单项选择题 ()可以通过带电粒子在盛场作用下做运动把粒子进行筛选,挑选出唯一需要注入的离子。