填空题 电容式传感器主要缺点有（）、当电容式传感器用于变间隙原理进行测量时具有非线性输出特性。

填空题 电容式传感器的优点主要有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单、（）。

填空题 电容式传感器的优点主要有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、（）、（）。