单项选择题 超精密机床导轨部件要求有极高的（）精度，且其不能有爬行，导轨耦合面不能有磨损。

单项选择题 在超精密加工中，微量进给装置用于（）微量调整，以保证零件尺寸精度。

单项选择题 下列不属于超精密车削加工的零件是（）。