多项选择题
外延在半导体生产中的作用是（）
A.实现杂质浓度突变B.优化衬底材料性能C.设计更加灵活D.让硅片更厚
多项选择题 CMP工艺的三大关键因素是（）
多项选择题 影响CMP质量的因素有（）
多项选择题 高温回流一般用于（）
