填空题 目前规定的防污板更换周期为（）罩。更换防污板空镀时要镀（）。

填空题 目前GENER机的透亮工艺其烘烤温度是（）。

填空题 产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为（）。