单项选择题 在温度相同的情况下，制备相同厚度的氧化层，分别用干氧，湿氧和水汽氧化，哪个需要的时间最长？（）

单项选择题 恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为什么分布？（）

单项选择题 从离子源引出的是：（）