问答题
源漏电极很多工厂采用的复层材料Mo/Al/Mo，试分析上下层Mo的作用。
1）下层Mo的作用：Al直接与a-Si接触很容易向a-Si扩散使漏电流增大，影响TFT的关态特性，所以在Al层下面要增加......
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问答题 简述存储电容的作用。
问答题 简述7次光刻的第二次光刻中O2灰化的作用。
问答题 简述层间清洗的作用。
